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半自動光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用
半自動光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用 2025-04-15

隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動光刻機(jī),憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...

  • 球磨測厚儀的具體操作如下所示 2022-05-23

    球磨測厚儀適用于測定涂在平整試板上的濕膜厚度,但在現(xiàn)場或工廠也可以用于只向一個方向彎曲的工件表面,只要底材在兩同心輪間不彎曲變形以至影響儀器的測定即可。當(dāng)結(jié)果評定時,使用每個標(biāo)度的線性中心區(qū)段,即使用標(biāo)度總量程的80%左右的區(qū)段,精度高。主要用于測定涂漆表面濕膜的厚度并可大致估計(jì)膜干時的大致厚度,該儀器既可用在實(shí)驗(yàn)室又可用于生產(chǎn)控制。主要用于測量色漆、清漆等各種涂料在施工時涂層厚度的工具。各種涂料施工后,立即將濕膜測厚儀穩(wěn)定垂直地放在平整的工件涂層表面,即可測得涂層厚度。球磨...

  • 深能級瞬態(tài)譜儀主要具有以下功能特色 2022-05-18

    深能級瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段!測試功能:電容模式、定電容模式、電流模式、(雙關(guān)聯(lián)模式)、光激發(fā)模式、FET分析、MOS分析、等溫瞬態(tài)譜、Trapprofiling、俘獲截面測量、I/V,I/V(T)、C/V,C/V(T)、TSC/TSCAP、光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜、DLOS。測試根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜,是一種具有很高檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法,...

  • 脈沖激光沉積的沉積速率高,試驗(yàn)周期短 2022-05-06

    脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsedlaserablation,PLA),是一種利用激光對物體進(jìn)行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。不過,脈沖激光沉積的發(fā)展與探究,處處受制。事實(shí)上,當(dāng)時的激光科技還未成熟,可以得到的激光種類有限;輸出的激光既不穩(wěn)定,重復(fù)頻率亦太低,使任何實(shí)際的膜生成過程均不能付諸實(shí)行。因此,PLD在薄膜制作的發(fā)展比其它技術(shù)落后。以分子束外延(MBE)為例,制造出來的薄膜質(zhì)素就優(yōu)良得多。往后十年,由于激光科技的...

  • 納米壓印系統(tǒng)應(yīng)用及方法介紹 2022-05-05

    納米壓印系統(tǒng)是一種用于數(shù)學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。生物大分子的納米圖案變化對于組織工程具有非常重要的意義,如何將在生物活性前提下實(shí)現(xiàn)生物大分子的納米圖案仍然是一個科學(xué)挑戰(zhàn)。利用納米壓印過程的生物相溶性,可以將生物大分子DNA、蛋白質(zhì)等直接進(jìn)行納米圖案化,進(jìn)而研究其在生物醫(yī)療和組織工程領(lǐng)域的應(yīng)用。納米壓印方法:包括步驟:提供集成模具;所述集成模具包括平面板以及緊密固定在所述平面板上的多個具有納米圖案的單元模具;提供襯底;在所述襯底表面形成光刻膠層;將所述集成...

  • 皮可安培計(jì)的工作原理及使用注意事項(xiàng) 2022-04-22

    皮可安培計(jì)轉(zhuǎn)動線圈式電流表轉(zhuǎn)動線圈式電流表(galvanometer)裝有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流?;竞喗椋?測量電路中電流強(qiáng)度的儀器,也叫安培表、電流表。主要類型有轉(zhuǎn)動線圈式電流表、轉(zhuǎn)動鐵片式電流表、熱偶式電流表以及熱線式電流表轉(zhuǎn)動線圈式電流表轉(zhuǎn)動線圈式電流表(galvanometer)裝有一分流器(shunt)以降低敏感度,它只能用于直流,但加一整流器(rectifier)也可用于交流。皮可安培計(jì)...

  • 多功能磁控濺射儀功能強(qiáng)大,性價比高 2022-04-19

    多功能磁控濺射儀在所有的小型高真空鍍膜設(shè)備中,此設(shè)備功能強(qiáng)大,性能價格比非常好。鍍膜方式包含了熱蒸發(fā),電子束蒸發(fā)和磁控濺射沉積。由于它的模塊化設(shè)計(jì),使得多數(shù)研發(fā)人員用起來非常方便,針對各種樣品易于轉(zhuǎn)換沉積條件,是研究人員不可獲缺的鍍膜工具!系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。主要性能指標(biāo):極限壓力≤2.0x10-5Pa;基片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)6個工位;樣品尺寸:Ф30mm,可放置6片;運(yùn)動方式:0-360°;...

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