您好！歡迎訪問科睿設(shè)備有限公司網(wǎng)站！
咨詢熱線
13916855175
13916855175
當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展，光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動光刻機(jī)，憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式，已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料（光刻膠）在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...
激光直寫提高工作量和用戶安全程度激光直寫光刻機(jī)是桌面型高分辨率激光光刻系統(tǒng)，它通過固定連續(xù)的375nm或405nm紫外光源在光刻膠或紫外敏感膠中直接刻劃獲得微納結(jié)構(gòu)，直寫面積高達(dá)4英寸，特征尺寸（寬度）可達(dá)1微米。激光直寫光刻機(jī)提供豎直和掃描直寫模式，確保直接軌跡偏離小于100nm，具有電動光學(xué)聚焦系統(tǒng)，提供快速的聚焦功能，從而適合各種厚度襯底的要求，并具有晶圓裝載和卸載系統(tǒng)裝備到襯底室供客戶選配，增強(qiáng)清潔程度，提高工作量和用戶安全程度。激光直寫不僅具有無掩模板直寫系統(tǒng)的靈活...
掃一掃，關(guān)注微信電話
微信掃一掃